氢气和氯气在合成炉中燃烧反应生成的氯化氢气体是80年代初为适应我国电子工业的快速发展而提出的，是一种技术先进的方法。该方法生产的氯化氢气体纯度在99.9%(质量分数)以上。
    工艺流程如下：氢处理过程中原料氢由氢气压缩机送出，经过氢气缓冲罐，再通过阻火器进入钢合成炉底部的燃烧器(俗称石英灯头或钢套管灯头)点火燃烧。原料氯气在氯气处理过程中由氯气压缩机加压，然后输送到缓冲罐。它按一定的分子比进入合成炉灯头内管，通过灯头上的斜孔与外管中的氢气自下而上均匀混合燃烧。火焰温度达到2000℃左右，放出热和光。正常的火焰是蓝白色的。合成氯化氢气体由合成炉夹套冷却水冷却。当合成炉出口温度降至400 ~ 600℃时，通过空气冷却器自然冷却至100 ~ 150℃，然后通过除铁器冷却至40 ~ 50℃左右，再通过低温石墨冷却器进一步冷却。冷却的氯化氢气体从石墨冷却器的下部排出，并通过酸雾分离器进一步除去。来自合成炉的氯化氢气体在常温和低温下被干燥、吸附和净化，在低温和低压下被冷凝，不可冷凝的气体杂质被除去并以液体形式装瓶。