氯化氢气体

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氯化氢气体除水的关键性是什么?
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氯化氢气体除水的关键性是什么?

发布时间:2021-03-11 16:41:56 打印
    氯化氢气体为什么要除水呢?除水的关键性又是什么呢?接下来我们来具体看一下。
    无水氯化氢(HC1),也称为无水盐酸,是分子量为36.471775的化合物,在室温和大气压下以气态存在,在大气压和85下液化。本发明中使用的术语“氯化氢”是指气态或液态无水盐酸。
    氯化氢用途广泛,其中高纯氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶片的气相抛光、外延和基座刻蚀工艺,也用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化工制造、光通信、科研领域。
    鉴于全球市场上大规模集成电路的爆炸式快速增长,作为集成电路生产中硅片刻蚀、钝化和外延的重要材料,高纯氯化氢的市场需求快速增长,对氯化氢纯度的要求越来越高,对杂质含量的要求也越来越严格,尤其是水和有机物的含量要严格限制,因为这种气体中水和有机物的含量对单晶硅片的精密加工和芯片的寿命有很大的影响。

    与有机杂质相比,氯化氢中的水杂质由于氢键的存在和水与氯化氢的共沸物的存在而更难去除,这是生产高纯氯化氢的关键。

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